完善的真空系統(tǒng)是由真空泵或真空機(jī)組以及各種管路、測(cè)量裝置、閥門、電氣控制系統(tǒng)等一系列的配套輔助元件設(shè)施一同構(gòu)成的

真空機(jī)組一般根據(jù)主泵的類型來(lái)命名，然后可根據(jù)產(chǎn)品特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行分類，如含油真空機(jī)組與無(wú)油真空機(jī)組；更常見的，是按真空應(yīng)用范圍來(lái)，可分為低真空機(jī)組、中真空泵機(jī)組、高真空機(jī)組及超高真空機(jī)組。

低真空機(jī)組工作壓力高、排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥機(jī)真空脫氣等。低真空機(jī)組常用的主泵，容積式真空泵中的往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機(jī)械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以勝任，但根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件，需配置除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設(shè)施。

中真空機(jī)組，適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。以往中真空機(jī)組由羅茨真空泵+油封機(jī)械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿真空泵這樣的無(wú)油真空泵的興起，羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無(wú)油真空機(jī)組也逐漸增多，適應(yīng)性更廣。

高真空機(jī)組工作于分子流狀態(tài)下，工作壓力區(qū)間在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，一般情況下主泵由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵以及低溫冷凝泵等來(lái)承擔(dān)，由于它們無(wú)法直接在大氣下工作，因此必須配置前級(jí)泵、預(yù)抽泵等，特殊情況下為防止氣壓波動(dòng)還需要配置維持泵與儲(chǔ)氣罐等。

超高真空機(jī)組工作壓力區(qū)間在10-6～10-10Pa，需要主泵的極限真空要在10-7～10-8Pa以上且在工作壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速，如濺射離子泵、渦輪分子泵等，而且對(duì)系統(tǒng)組成的材料要求能經(jīng)受200～450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率等等。